三甲基氯硅烷（trimethyl chlorosilane）為無色透明液體，有刺激臭味，在空氣中暴露，易和潮氣反應產生氯化氫。硅-鹵鍵化合物。在工業上，已形成規模生產能力，一般采用氯甲烷和硅粉在催化劑作用下直接合成，經分餾得到純品。
三甲基氯硅烷化學性質
分子量：108.84
熔點：-40℃
沸點：57.6℃
液體密度(25℃)：854kg/m
表面張力(20℃)：0.01776N/m
(30℃)：0.01688N/m
(40℃)：0.01601N/m
折射率(25℃)：1.3893
閃點：-27.7℃
三甲基氯硅烷在常溫常壓下為元色透明易揮發易燃液體。極易水解，遇水蒸氣發出有毒的腐蝕性煙霧。遇水發熱，并水解放出游離鹽酸。溶于苯、醚、過氯乙烯等。遇強氧化劑和明火有引起燃燒的危險。
三甲基氯硅烷制備方法
氯甲烷與硅粉在氯化亞銅催化下一步直接合成，生成甲基氯硅烷混合物，經精餾提純可得三甲基氯硅烷及其他單體。實驗室制備可將四甲基硅烷與乙酰氯在三氯化鋁存在下反應。
三甲基氯硅烷用途
有機合成中間體，制備硅酮樹脂、硅橡膠、高溫粘合劑等的原料，密封劑，干燥劑，脫水劑。
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